混合型漸變緩衝層磊晶成長之方法

出處 核研所 作者 黃文祥, 吳志宏, 洪慧芬 年份 2017
報告類型 核研所報告 分類 新/再生能源 |太陽能發電 資料時間 2017年12月

    本實驗主要係以有機金屬化學氣相沉積系統(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)成長砷化銦鎵晶格形變(Metamorphic)緩衝層。該成長技術促使砷化銦鎵之量子頻譜響應能量吸收可延伸至1.0~1.3 eV,可作為四接面太陽電池結構之用途,同時兼具改善薄膜間晶格不匹配(Lattice mismatch)所產生之應力,故可獲得良好薄膜品質,適合應用於三五族多接面太陽能電池發展。

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