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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術

出處 臺灣大學電子工程學研究所 作者 李建霖、蔡坤諭 年份 2021/04/08
報告類型 新聞報導 分類 原子科技及民生應用 資料時間 2021年4月
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        摩爾定律(Moore's Law)為描述計算硬體歷史上的一個長期趨勢:該定律為英特爾公司的聯合創始人和名譽主席Gordon E. Moore博士長期觀察所提出的經驗法則,意思是因半導體製程技術的提升,積體電路上可以相對低價置入的電晶體數量大約每18個月至兩年增加一倍(如圖1)[1],又電晶體為執行運算的基本單元,因此晶片性能也將提升一倍。該定律為Moore博士首先在1965年的一篇開創性文章中提出[2],並於國際電子元件會議(IEDM)[3]、國際光電工程學會的微影技術研討會(SPIE)[4]和國際固態電路研討會(ISSCC)[5]等重要的國際半導體領域會議中持續探討至今。

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